一种新型压力传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:16677239

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本发明涉及一种新型压力传感器。背景技术目前,商用车上使用的压力传感器主要采用MEMS技术,其原理是通过一个惠斯通电桥测量电路将压力信号转换为电阻信号,经过模数转换、校准补偿后以电压或电流形式输出。由于测量电路是与被测介质接触的,且不具有耐腐蚀性,当被测介质具有腐蚀性时,测量电路易失效,所以MEMS阻式压力传感器适用范围有限。发明内容本发明提出一种新型压力传感器,由于其测量元件是陶瓷电容,因本身陶瓷的化学稳定性和热稳定性,决定了该类型传感器测量元件不易腐蚀,受温度影响小,可用于机油、有杂质气体、空...
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