技术编号:16688817
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种用于晶圆流片制造的前处理装置。背景技术众所周知,用于晶圆流片制造的前处理装置是一种用于晶圆流片生产制造过程中,其所使用的晶圆表面附着三氧化二铝和甘油混合保护层,在制作前需要对晶圆表面的保护层进行处理,以方便其后续加工制造的附属装置,其在晶圆流片制造的领域中得到了广泛的使用;现有的用于晶圆流片制造的前处理装置包括处理箱和四组支撑柱,处理箱内设置有处理腔,并在处理箱顶部设置有取放口,取放口与处理腔相通,四组支撑柱顶端分别与处理箱底部左前侧、左后...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。