技术编号:16688826
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体技术领域,更具体地,涉及一种基于逐级均匀扩展的微器件巨量转移装置及方法。背景技术Micro-LED即LED的微缩技术,其将毫米级的LED进一步微缩到微米级,以达到超高像素、超高解析率,理论上能够适应各种尺寸屏幕的技术。Micro-LED具有无需背光源、自发光的特性,在性能上有着比OLED更高的发光寿命与更高的亮度,有着良好的应用前景。Micro-LED主要通过将传统LED晶体薄膜用微缩制程技术进行微缩化、阵列化、薄膜化,然后通过巨量转移技术将晶体膜批量转移到电路上,利用物理沉积技...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。