技术编号:16705031
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电镀设备领域,尤其涉及一种电镀金刚石线锯设备上的液体密闭循环系统。背景技术随着半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大尺寸的需求越来越大,对硅片的切割要求也越来越精密,对金刚石线锯的用量也越来越大。金刚石线锯在生产时液体循环系统是必不可少的,如果没有密闭循环系统就会出现液体外泄、液体加热蒸发后对环境造成破坏。目前比较传统的电镀行业中水泵选用的不是耐腐水泵,漏液现象普遍,储液箱与工艺槽都是敞口的,液体的外泄、加热后蒸发的现象极其普遍,对自然环境造成严重的破坏,同时对工人的身体健康造成极...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。