技术编号:16724120
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种敏感膜,更具体地,涉及一种用于传感器的敏感膜,例如应用于麦克风的敏感膜、应用于扬声器的敏感膜或者应用于压力传感器的敏感膜等。背景技术随着科技的发展,传感器成为电子产品中必不可少的部件,例如用于拾取声音的麦克风、用于发声的扬声器,或者用来测量压力的压力传感器等等。这些传感器基本上都是应用了敏感膜的形变来获得检测的信息。例如麦克风结构,其包括构成平板电容器结构的敏感膜以及背极板,当敏感膜感应外界传入的声音时,发生形变以改变敏感膜与背极板之间的距离,从而使得平板电容器结构输出变化的电...
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