技术编号:16736201
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域,特别涉及一种氮化镓基发光二极管外延片及其制作方法。背景技术发光二极管(英文:Light Emitting Diode,简称:LED)是一种能发光的半导体电子元件。LED因具有节能环保、可靠性高、使用寿命长等优点而受到广泛的关注,近年来在背景光源和显示屏领域大放异彩,并且开始向民用照明市场进军。由于民用照明侧重于产品的省电节能和使用寿命,因此降低LED的串联电阻和提高LED的抗静电能力显得尤为关键。外延片是LED制备过程中的初级成品。现有的LED外延片包括衬底、N型半导体...
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