技术编号：16740581
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本公开涉及一种声波装置及制造该声波装置的方法。背景技术带通滤波器是从各种频带中仅选择所需频带内的信号以发送和接收所选择的信号的通信装置中的关键组件。近年来，声波装置已被广泛地用作这种带通滤波器。在声波装置中，通过将压电介电材料沉积在作为半导体基板的硅晶圆上并利用压电介电材料的压电特性而诱发谐振，而将薄膜元件形成为滤波器。声波装置的示例可包括表面声波(SAW)滤波器、体声波(BAW)滤波器等。多个声波装置可安装在基板上并用作应用中的模块，而所述应用可包括移动通信装置中的又小巧又轻质的滤波器...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。