技术编号：16751016
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示设备技术领域，特别涉及一种薄膜晶体管的制备方法。背景技术目前大尺寸TV产品主要以高级超维场转换(ADS)产品为主，其中阵列制作工艺，一种方案是采用4次掩膜技术，需要用到两次半掩膜工艺，但是无法退火处理，容易造成金属膜氧化；另外一种方案是采用5次掩膜技术，可以退火处理。第一种方案优点是采用4次掩膜工艺可以有效降低薄膜晶体管的制作成本，但是不能退火处理以使导电玻璃晶化；第二种方案优点是退火处理可以使导电玻璃晶化，有效降低导电玻璃电阻和应力，消除晶格缺陷，有效提高透过率，但是采用5次掩膜...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。