技术编号:16761778
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及热丝气相沉积技术领域,尤其是涉及一种热丝夹具与热丝沉积设备。背景技术热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜的基本原理如下:碳源(如甲烷、丙酮等)和氢气的混合气体通过金属热丝,在由热丝形成的高温领域内分解出甲基和氢原子,并在一定的压力下,大量的甲基与一定温度的合金衬底作用以及甲基之间发生复杂的复合反应,生成各种sp、sp2和sp3杂化的碳氢基团。由于氢原子对sp2键结构碳有很强的刻蚀作用,因而抑制了石墨的生成;同时氢原子对sp3键结构碳的刻蚀作用较小,且具有一定的稳定作用,所以最终沉积在衬...
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