技术编号:16765526
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有原点检测机构的切削装置和设置于原点检测机构的电极端子组件,该原点检测机构对切削刀具相对于保持工作台的切入方向的原点位置进行检测。背景技术半导体晶片或玻璃基板等被加工物例如通过具有旋转的圆环状的切削刀具的切削装置沿着间隔道进行切削而分割成多个芯片。该切削装置具有:卡盘工作台,其对被加工物进行保持;切削单元,其具有对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削的切削刀具;以及原点检测机构,其用于对作为设定切削刀具的切入量的基准的切削刀具的原点位置进行检测(例如,参照专利文献1)。这种原点检测机...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。