技术编号:16765807
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种根据石英晶体谐振器(quartz-crystal:石英晶体谐振器/又称石英晶体/俗称晶振)的谐振频率的变化来测量膜厚的膜厚监视器和膜厚测量方法。背景技术现有技术中,在真空蒸镀装置等成膜装置中,为了测量在基板上成膜的膜厚和成膜速度,使用这样一种技术:利用石英晶体谐振器来计测微小的质量变化的方法(QCM:Quartz Crystal Microbalance)。该方法利用被配置在腔室内的石英晶体谐振器的如下特性:其谐振频率由于蒸镀物的沉积带来的质量增加而降低。因此,能够通过测量石英晶体...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。