技术编号:16774769
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种柔性基底上纳米薄膜的弹性模量测试方法,属于纳米薄膜的力学性能测试技术领域。背景技术微电子机械系统(MEMS)和柔性电子领域的迅速发展促进了越来越多新技术的研发和应用,吸引了学术界和工业界的广泛关注,如微传感器、电子皮肤、可弯曲显示器等。作为其中的一个基本结构,功能性薄膜(厚度一般为几十至几百纳米)通常沉积在可灵活变形的聚合物基底上。在实际使用过程中,这些系统受到复杂的机械载荷作用,其寿命和性能强烈依赖于薄膜的力学性能。因此,发展薄膜力学性能的相关测试技术十分重要。众所周知,由于在厚...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。