技术编号:16775866
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及图像处理领域,尤其涉及一种用于图像采集的电子束成像模块、电子束检测设备、以及利用上述电子束检测设备的图像采集方法。背景技术电子束检测装置是一种公认的半导体器件生产过程中的缺陷检测设备。该电子束检测装置的主要原理是利用高能电子束轰击被测物体表面,探测被轰击区域产生的二次电子、背散射电子等获取被测样品本身的各种物理、化学信息,如形貌、成分等。电子束检测装置的应用通常例如,基于真空中电子束对半导体硅片与掩模版上的微观图形进行检测与关键尺寸的测量。随着近年来半导体器件的小型化,针对硅片和掩模版...
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