技术编号:16778102
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子技术领域,具体涉及一种基于(AlxGa1-x)2O3材料MSM结构的紫外光电探测器及其制备方法。背景技术近年来,随着科学技术的发展、光电技术的成熟,紫外光电探测器在民用和军事领域得到了广泛的应用。目前常用的紫外光电探测器是MOS(金属-氧化物-半导体)结构,这种结构的紫外光电探测器都只能探测比较单一的光谱响应范围内的信号。然而,用于光波分复用技术、多光谱测量仪表以及激光警告等都需要能同时检测两个及以上光谱响应范围内的光信号;因此发展两个及以上光谱响应范围的紫外光电探测器对未来探测...
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