技术编号：16778325
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高端制造业管道零部件表面防护技术领域，尤其涉及一种深长孔管道内壁用超厚碳基润滑涂层的沉积方法。背景技术深长孔径管道零件是航空航天、海洋工程、军事工业等高端制造业发展中不可或缺的典型零件，管道零部件的使用寿命与其内表面涂层材料的强度、耐磨性、防腐性密切相关。碳基润滑材料由于具有高硬度、低摩擦、高耐磨、良好的耐蚀性以及生物相容性等特点，非常适合作为管道零部件内部的防护涂层，在机械、航空航天、海洋工程和生物医学等多个领域具有广阔的应用前景。目前，碳基润滑涂层的制备主要采用真空等离子体气相沉积...
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