技术编号:16778402
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域,特别地涉及一种柔性微型压电超声换能器、阵列及其形成方法。背景技术当前的微型压电超声换能器(Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer,简称PMUT)大多基于硅基底。刚性的硅基底虽然能很好的保护器件不受到环境损坏,但是基于刚性基底的PMUT一般不易弯曲,无法简单实现弯曲皮肤成像等应用领域的需求,限制了PMUT器件向可植入、可穿戴、非侵入等方向的潜在应用。发明内容有鉴于此,本发明提供一种柔性微型压电超声换能器、阵列及其...
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