技术编号：16786290
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微结构检测技术领域，特别涉及一种3D显微镜。背景技术近年来，随着各种微加工技术的发展，飞秒激光双光子微加工技术在众多领域得到了快速的发展及应用。微结构尺寸一般都在1μm-1000μm范围内,肉眼无法观测微结构的具体形貌和尺寸。所以在制备微结构前，通常需要使用各种限位技术对微结构进行观察或检测。目前观察微结构的主要方法是使用传统显微镜和扫描电子显微镜两种。传统的普通光学显微镜成本低，简单易操作。但是在进行观测时只能观测微结构的一个二维平面，无法实现多个角度对微结构进行观测。而微加工的...
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