技术编号:16789855
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请案根据35U.S.C.§119(e)主张2014年7月22日申请的标题为“用于同步暗场及相位对比检验的系统及方法(APPARATUS AND METHODOLOGY FOR SIMULTANEOUS DARK FIELD AND PHASE CONTRAST INSPECTION)”,发明者名为黄传勇(Chuanyong Huang)、李晴(Qing Li)、D·佩蒂伯恩(Donald Pettibone)及B·格拉韦斯(Buzz Graves)的序列号为62/027,393号的美国临时申...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。