技术编号：16797400
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶生产设备技术领域，特别是用于生产重掺硅单晶的安全掺杂的隔离，更具体地说，涉及一种单晶炉上下炉室安全隔离装置。背景技术众所周知，硅单晶片是一种重要的半导体材料，单晶硅片的生产首先要通过单晶炉生产单晶棒，单晶硅棒在生产过程中需要掺入杂质剂，特别是生产重掺单晶硅在生产长晶过程中，引晶成功率较低且时间长。而单晶液态硅在长时间高温1500度的环境下，掺杂剂锑、砷、磷等大量挥发，通过真空泵的抽空将挥发物排出，造成掺杂剂含量降低，进而使单晶棒因参数不合格而报废，为此需多次掺杂来保证产品质量。...
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