技术编号:16805883
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于对在扫描型探针显微镜中利用探针扫描试样表面获取到的、该试样表面的多个测定点上的探针与试样表面之间发生的相互作用的数据进行解析的扫描型探针显微镜用数据处理装置,尤其涉及一种对力曲线等表示相对于第1物理量的变化的第2物理量的变化的两轴数据进行解析的装置。背景技术在扫描型探针显微镜(SPM:Scanning Probe Microscope)中,使微小的探针(Probe)的顶端靠近试样表面,利用该探针扫描试样表面来获取该探针与试样之间的力学相互作用、电磁相互作用等相关的数据。获取到的...
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