技术编号：16805905
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例涉及一种机电组件。另一实施例涉及一种机电组件布置。其他实施例涉及对机电组件执行功能测试的操作程序及方法。本发明的实施例涉及一种用于借助于可机械偏转的板验证电位的装置。背景技术为了实现集成组件的大小的进一步减小，必须不断地改良用于制造的技术(例如，微影)。除其他技术外，电子写入技术(电子束微影)可被视为极适合的，因为其保证对于极精细结构化是必要的极高分辨率。为加速写入过程，利用可被单独控制的众多电子束是有用的。已在NuFlare专利(US 9,082,581B2)中描述具有任意数目的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。