技术编号：16811226
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及控制设备、图像投影装置和控制方法。背景技术近年来，作为使用微机械技术进行例如硅和玻璃的微细加工(对硅和玻璃应用半导体制造技术)的微机电系统(MEMS)设备是一种紧凑的光偏转镜，其中可移动部分在基板上设有反射表面，并且整体形成的弹性梁部分已被开发为用于偏转和扫描光束的手段。作为这种光偏转镜，存在一种压电型光偏转镜，其中薄压电材料叠加在镜的梁形(beam-shaped)弹性部件上，以用于驱动形成压电致动器。此外，通过采用能够进行水平扫描和垂直扫描的二维光学扫描的配置，可以实现二维激光扫描装...
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