技术编号：16813565
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。质谱检漏仪使用常用的多级涡轮分子泵将测试对象或围绕测试对象的测试室抽空，并且将气流供应给质谱仪以分析所抽取的气体，这里仅将所抽取气体的一部分供应给质谱仪。例如，DE19735250A1中描述了这种质谱检漏仪。氦气通常用作泄漏检测的测试气体。已知通过给这种质谱检漏仪的连接到测试对象或测试室的气体传导路径提供一个增压泵，可实现测试对象或测试室的更快抽空，更高的灵敏度，以及更大体积的更快响应时间。US2006/0280615A1中描述了这样一种检漏仪。质谱仪通过泵级同轴分布的两级涡轮分子泵连接到前级泵...
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