技术编号：16837355
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型专利涉及精密抛光加工技术，具体涉及一种“冷、柔”表面超精密抛光加工技术与装置。背景技术目前，现有的表面超精密加工技术，一般是采用射流、磁流作为载体进行加工，但其存在如微粉团聚（当微粉为纳米级时，在抛光剂水射流形成过程中，微粉有团聚趋势）、微细抛光加工时喷嘴堵塞（由于微细抛光水射流喷嘴尺寸较小，在射流开关的过程中，极易堵塞）、喷嘴磨损破坏、冲击力较大和存在较强的磁场等问题，影响其加工效果和应用范围。发明内容针对现有表面超精密加工技术所存在的上述不足，本实用新型提供一种采用超声雾化技术的表...
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