技术编号:16837721
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及蓝宝石加工领域,特别涉及一种冷却压盘装置。背景技术图形化衬底就是通过湿法高温腐蚀或感应耦合等离子体刻蚀(ICP)的办法在衬底上形成类似半球形、圆台形、圆锥形、三角锥形、多棱锥形、柱形或不规则图形等微结构。这类微结构对光波具有漫反射作用,可增加光子的逃逸几率,从而提高LED的发光亮度。衬底上有规律的微结构会在衬底生长上有一定的积极作用,提高产品均匀性以及图形化蓝宝石衬底的利用率。对蓝宝石衬底的抛光过程中,需要先将蓝宝石衬底通过蜡固定在基底上,由于蜡的熔点较低,故需要对贴片后的蓝宝石衬...
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