技术编号：16837870
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于磨削加工工具技术领域，更具体地说，是涉及一种微沟槽加工用的砂轮工具。背景技术在光伏、生物化学和电子产品等的表面加工制造出尺寸为纳米到微米级的沟槽结构可以产生很多新的功能特性。目前，微纳结构表面的微细加工主要依赖于激光、电子束、离子束、化学腐蚀等微细加工方法。但是，这些蚀刻加工方法的生产设备昂贵，生产周期很长，且伴随有难以处理的腐蚀液等，容易造成环境污染的问题，从而限制了它们的发展。精密微细磨削加工是制备表面微沟槽结构的有效加工手段之一。但是，传统的微细磨削用的砂轮工具会发生损耗，砂...
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