技术编号：16849014
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及微电子机械系统领域。背景技术微电子机械系统(MEMS)器件可以包括使用微加工技术制造的器件，诸如换能器、传感器、致动器等。MEMS器件可以通过测量换能器的物理状态的变化并且将已转换信号传送到与MEMS器件连接的处理电子器件来感测来自环境的信息。MEMS器件可以使用类似于用于集成电路的微加工制造技术来制造。发明内容根据一些实现，一种用于形成微电子机械系统(MEMS)器件的方法可以包括：执行悬空硅工艺以在单晶硅衬底中在相对于单晶硅衬底的顶面的第一深度处形成腔体；在单晶硅衬底的导电电极区域中...
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