技术编号：16863529
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件制备领域，具体涉及一种减少扩散补偿氮用量的扩散炉尾气管装置。背景技术太阳能晶硅电池生产的主要流程包括：制绒、扩散、湿法刻蚀、减反射膜的沉积、丝网印刷和烧结。其中，扩散是PN结制备的主要工序，而PN结又是太阳能电池的核心结构，且PN结的质量好坏对太阳晶硅电池的转换效率有着重要的影响。目前扩散炉废气排放装置主要包括气体缓冲瓶和排风设备，气体缓冲瓶的一端与扩散炉的尾气管连接，其另一端与排风设备连接，在尾气管上设有压力监测设备，在气体缓冲瓶上设有氮气补偿设备，压力监测设备与氮气补偿设...
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