技术编号：16875009
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及无尘室中抽气泵技术领域，特别涉及一种用于抽气泵的限位脚。背景技术在电子厂特别是在半导体厂，由于抽气泵应用较为频繁，也较为精密，其中抽气泵的稳定性尤为重要；由于抽气泵本身在工作时会产生震动，所以该设备极为不稳定。但是由于抽气泵本身设计的特点，其垂直方向由于重力作用而基本上能克服其垂直方向的震动。但是抽气泵本身运转也会产生水平方向的震动，从而使抽气泵会左右前后晃动，长期的水平晃动会导致输气管的连接头部分产生疲劳损坏现象。另外，由于输气管的水平方向的晃动会进一步把其震动传递到其他精密仪器...
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