技术编号:16888135
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测量技术领域,尤其涉及一种表面平坦度测量装置及方法。背景技术液晶面板行业,偏光板和玻璃基板在制程过程中,由于上下膜层的应力不同,导致偏光板和玻璃基板易产生翘曲,影响产品最终的品质。为保证产品质量,需对偏光板和玻璃基板的表面平坦度进行监控,并严格控制在规格内。目前业内测量平坦度的方法主要有两种:一种是采用厚薄规尺测量,一种是采用钢尺测量。参考图1,现有采用厚薄规尺测量表面平坦度的测量原理示意图。其测量原理为:将待测量的玻璃基板12放置在大理石平台11上(翘曲面向下),用厚薄规尺13插入待...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。