技术编号:16889547
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及压力传感技术,尤其涉及一种压力传感器。背景技术硅压阻压力传感器的原理是利用半导体材料的压阻效应,是日前应用最为广泛的一种压力传感器,其具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型微型化、便于批量生产以及使用方便等优点。然而现有的硅压力传感器抗腐蚀性不足,不适合应用于腐蚀气体等恶劣环境当中。发明内容本发明提供一种压力传感器,以提供一种抗腐蚀、耐高温、高稳定性、高精度并且成本低的压力传感器。本发明实施例提供了一种压力传感器,该压力传感器包括:陶瓷基底和硅压...
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