技术编号:16895091
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金属掩膜蒸镀装置,特别是涉及一种具有可拆装压条的冷却板的金属掩膜蒸镀装置。背景技术有机电致发光器件(OLED)以其自发光、全固态、高对比度、可弯曲等优点,成为目前最具发展前景的新型显示器件。在OLED产品制造过程中需使用精密的金属掩模板(mask)遮挡有机材料来定义像素(pixel)区域,从而使蒸发的有机材料沉积在像素区域内。请参照图1及图2所示,图1是现有的一种金属掩膜蒸镀装置的示意图,图2是现有的一掩膜板的示意图。如图1及图2所示,现有的一种金属掩膜蒸镀装置1主要包含一掩膜板2...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。