一种组织及织构可控的超高纯钽及其制备方法和应用与流程技术资料下载

技术编号:16895121

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本发明涉及一种组织及织构可控的超高纯钽及其制备方法和应用,属于特种材料设计制备技术领域。背景技术钽属于阀性金属,具有高导电性、高热稳定性和对外来原子的阻挡作用,因此被广泛应用于新一代信息技术产业(计算机、通信及其他电子设备)、先进半导体材料、航空航天装备、生物医药及高性能医疗器械等领域。随着新一代信息技术产业技术的不断发展,对高纯金属材料及溅射靶材的需求也将越来越大,为高端有色金属材料产业的发展提供了机遇。同时也对靶材纯度、组织性能控制、稳定性以及组件整体品质一致性等方面具有严格的要求,其如要求...
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