技术编号:16895121
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种组织及织构可控的超高纯钽及其制备方法和应用,属于特种材料设计制备技术领域。背景技术钽属于阀性金属,具有高导电性、高热稳定性和对外来原子的阻挡作用,因此被广泛应用于新一代信息技术产业(计算机、通信及其他电子设备)、先进半导体材料、航空航天装备、生物医药及高性能医疗器械等领域。随着新一代信息技术产业技术的不断发展,对高纯金属材料及溅射靶材的需求也将越来越大,为高端有色金属材料产业的发展提供了机遇。同时也对靶材纯度、组织性能控制、稳定性以及组件整体品质一致性等方面具有严格的要求,其如要求...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。