技术编号：16895180
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于卷绕镀膜系统沉积辊的防护装置，属于真空镀膜技术领域。背景技术真空卷绕镀膜技术，即在真空室内通过热蒸发、磁控溅射、等离子体增强等方法在柔性卷料基膜表面镀制功能薄膜的技术。其工作原理是蒸发、溅射或者是其它真空镀膜方法中的任意一种。以等离子体增强化学气相沉积技术为例，是在沉积室利用辉光放电使气体电离后在基膜上进行化学反应沉积的薄膜的制备方法。该方法可在较低温度下形成固体膜。例如在一个反应室内使基体材料包覆通过阴极，通入反应气体至较低气压(1～10Pa)，基体保持一定温度，以中频、射频...
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