技术编号:16909467
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统领域,尤其涉及一种基于硅立方体-玻璃键合的微机电系统三轴磁通门传感器,用于测量弱磁场。背景技术磁通门传感器作为一种传统的弱磁场检测器件,一直有着其独特的优势而无法为其他磁场传感器所取代,近年来更是不断在新的领域发现其应用潜力,例如小型移动设备GPS定位、导弹惯性制导、小卫星方位姿态控制、虚拟现实空间内的动作检测等。近年来,由于各种场的应用逐渐地扩展,对于器件的要求趋向于更薄、更轻、更便宜。相应地,磁通门传感器也试图变得更薄、更轻、更便宜。传统磁通门传感器使用一个坚固的骨架作为...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。