技术编号:16911878
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅基光子学与集成光电子学领域,具体涉及一种硅基可调谐激光器。背景技术随着信息技术和CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor,互补金属氧化物半导体)工艺技术的发展,人们对于系统的运算速度要求越来越快、芯片的尺寸要求越来越小。然而,建立在传统蚀刻工艺基础的硅集成电路在芯片已经趋于工艺极限;主要因为伴随尺寸的不断缩小,传统电互连为基础的集成电路的互连延迟效应与能耗问题逐渐显现,这限制了系统运行速度和集成度的提升。而与电互连技术相比,以光波子作为...
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