技术编号：16914156
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种对准标记，以及带有该对准标记的掩膜版及其制备方法。背景技术传统的MEMS芯片包括扫描微镜和扫描平台。并且在MEMS芯片结构外围设置外围电路板，外围电路是与MEMS芯片结构相电连的，外围电路包括控制器电路等。MEMS芯片结构中，扫描微镜耦合于扫描平台。扫描平台在驱动激励和磁场作用下能够产生移动，控制器控制扫描平台的移动方向和位置。扫描微镜能够沿着旋转轴旋转。传统器件中，各个外围电路都独占一块电路板，并且与MEMS芯片结构采用导线或金属线相电连，使得最终的产品器...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。