技术编号:16917432
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池加工设备技术领域,尤其涉及一种硅片传输装置及硅片传输系统。背景技术在硅片的加工生产中,为了满足不同的应用需求,时常需要将硅片进行各种化学处理,随着自动化生产的普及,硅片一般会通过流水线运送至各个加工工位,而为了提高生产效率,有些加工工段需要将一个硅片放入另一个硅片底部进行堆叠,以便后续加工、运输或收纳。现有技术中,硅片的堆叠一般通过人力实现,不仅费时费力、堆叠效率低、不利于产业化、成本高,而且很容易因操作不当导致硅片污染或破损。因此,亟需一种新型的硅片传输装置来解决上述问...
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