技术编号:16918814
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及材料学领域的在基片上同时合成不同组分配比的复合薄膜的装置和方法,具体涉及一种配比可控的大面积高通量复合薄膜合成装置及方法。背景技术目前材料领域的一个研究热点就是高通量复合材料合成,即每次实验可以制备大量的材料组分不一样的样品,这样样品制备的效率可以大大提高。同时由于这些样品规则分布,可以自动扫描测试,从而测试的效率也大大提高。材料研究者通过这样大量的材料制备及自动化测试,从而寻找最佳的材料配方、迅速优化材料性能以及发现新型材料。脉冲激光沉积 (Pulsed Laser Depositi...
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