多维力传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:16979395

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本发明属于传感器技术领域,具体地来说,是一种多维力传感器。背景技术传感器,是能感受规定的被测量件并按照一定的规律(数学函数法则)转换成可用信号的器件或装置,通常由敏感元件和转换元件组成,在工业化进程中发挥着重要作用。传感器的种类众多,包括位移传感器、速度传感器、加速度传感器、力传感器、温度传感器等多种类型。其中,力传感器是一种将各种力与力矩信息转换为电信号输出的装置。多维力传感器是能够同时检测三维直角坐标空间中多个方向的力/力矩信息的传感器。例如,六维力传感器能够同时测量三个力分量与三个力矩分量...
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