技术编号:16979440
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于制造用于测量流体压力的压力传感器装置的方法和一种用于测量流体压力的压力传感器装置。背景技术在(高压)压力传感器装置中测量压力通道中的流体、尤其是液体的压力。为此压力通道在一侧上通过金属膜片来限界。在金属膜片上布置有用于测量流体压力或金属膜片变化的应变片或硅半导体芯片。至今将玻璃膏施加到金属膜片的背离压力通道的一侧上。随后例如在炉中加热该玻璃膏,以便加热玻璃膏中的接合剂(所谓的预烘)。由此使玻璃牢固地固定在金属膜片上。随后使硅半导体芯片借助于芯片精密放置器(Chipfinepla...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。