一种污染颗粒观察及测试装置及分析方法与流程技术资料下载

技术编号:16980163

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本发明涉及实物表面污染程度测试技术领域,尤其涉及一种污染颗粒观察及测试装置及分析方法。背景技术在汽车制造、航空、精密机械、半导体制造、食品加工、健康保健或者医药等领域,对于了解表面易感灰尘的部件、装置、产品、工件或接触表面的技术性清洁度的需求正在日益增长,例如在汽车驾驶领域,愈来愈需要清晰地了解燃料喷射系统、刹车系统、液体系统或缩微化和性能加强的独立部件以及在此基础上制造出的复杂组件的颗粒污染程度。一般由于被测试样本的表面太过庞大、或者由于形状复杂、表面崎岖不平而导致无法用直接法来观察及测试,此...
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