技术编号:16981290
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及半导体存储器件。背景技术由于其小尺寸、多功能和/或低成本特性,半导体器件被认为是电子产业中的重要元件。半导体器件(诸如半导体存储器件)的更高集成可有利于满足消费者对优良性能和低廉价格的需求。就半导体存储器件而言,增加的集成可以是特别有利的,因为其集成会是决定产品价格的重要因素。然而,用于增加图案精细度的极端昂贵的工艺设备会对为半导体存储器件增加集成设定实际限制。为了克服这样的限制,已经进行了关于用来增加半导体器件的集成密度的新技术的各种研究。发明内容本发明构思的一些实施方式提供了具有增...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。