技术编号：17021001
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器技术领域，具体而言，涉及一种测力/扭矩传感器。背景技术目前，国内已有各种环形测力传感器，其敏感元件结构均为电阻应变式，即在基底上粘贴金属箔式应变计或半导体应变片将弹性体受力后弹性形变转变为电阻变化，通过组成电桥提供输出。这类结构存在着以下不足：箔式电阻应变片灵敏度低GF=2、温度系数20ppm/℃、尺寸无法做得太小一般4*4mm，做成力环高度H≥15mm，内阻也无法做得很高，一般小于1KΩ，不能满足低外形，微功耗要求；半导体应变片，尺寸虽小内阻可高10K，灵敏度高GF=50—80...
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