技术编号:17041104
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及等离子体探测装置以及等离子体处理装置。背景技术一直以来,通过将用于测定等离子体的状态的探测器插入腔室内,从测定用电源将测定用电力供给到腔室内来测定等离子体的状态(例如参照专利文献1~3)。例如专利文献1中公开的探测器包括辐射电力的天线、传送测定用电力的同轴电缆和前端被封闭的电介质制的管,将天线与同轴电缆连接后插入到电介质制的管内。通过该配置的探测器,探测生成等离子体后的等离子体的变动。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2004-55324号公报专利文献2:日本特开2005-277...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。