技术编号：17043457
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及一种微机电系统装置及纳米装置，尤其涉及一种制作具有不同的疏水性程度及亲水性程度的三维感光成像结构的改善的方法、三维结构、及流体喷射装置。背景技术微机电系统(micro-electromechanical systems，“MEMS”)及纳米装置通常包括由感光成像材料制作的三维(three-dimensional，“3D”)结构。在一些应用中，需要所述3D结构具有亲水性质和/或疏水性质。MEMS装置及纳米装置的实例包括但不限于：流体喷射头、微过滤器、微分离器、微筛以及其他微米及纳米级流体...
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