技术编号:17045544
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及激光器且更具体涉及在垂直腔表面发射激光器(VCSEL)中控制光束发散度。背景技术垂直发射装置(例如垂直腔表面发射激光器(VCSEL))是一种激光器,其中激光束沿垂直于基体表面的方向发出(例如从半导体晶片的表面垂直地)。与边缘发射装置不同,垂直发射装置可以允许在晶片制造的中间步骤进行测试。发明内容根据一些可行的实施方式,VCSEL可以包括基体层和在基体层上的外延层。外延层可以包括活性层、第一反射镜、第二反射镜和一个或多个氧化层。活性层可以在第一反射镜和第二反射镜之间,且一个或多个氧化...
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