技术编号:17046349
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微波通信工程领域的微波负载,尤其是能够在常用旋磁材料上制备的,应用于高频段、高功率场合的氮化钽薄膜微波负载。背景技术目前,通过直流反应磁控溅射等工艺,可以在镍锌铁氧体基片上制备得到氮化钽薄膜微波负载。相比与传统的氧化铝和氧化铍基片,镍锌铁氧体基片上制备的氮化钽薄膜微波负载有很好的频率特性,可以应用于高频段(DC~40GHz)通信系统。现有镍锌铁氧体基片上制备的氮化钽薄膜微波负载包括以下几个部分:第一部分:镍锌铁氧体基片,电阻率极大,近乎绝缘的旋磁介电材料、介电系数高。第二部分:氮化...
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