技术编号:17054365
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本揭露涉及一种冷却系统及冷却系统的自动控制方法。背景技术许多工业通常会有散热的需求,在生产过程中的半成品或制程可能会产生十分高温的热量。若无法藉由冷却系统将这些热量带走的话,在例如是半导体厂中的生产机台将会无法继续运作,或是,导致例如是在矿场或大楼中的环境温度提升过快,使位于该环境中的人员难以继续工作。因此,冷却系统对于工业制造的耗电比重十分大,若是能够降低冷却系统的耗电量的话,将可节省许多电力。以半导体厂来说,许多生产机台(如,扩散、蚀刻、薄膜等操作机台)将可能产生高热。如何让控制机台在一定温...
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