技术编号:17063799
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及声电转换技术领域,更为具体地,涉及一种热双晶振膜(thermal bimorph diaphragm)的制作方法及微电子机械系统(MEMS)扬声器。背景技术扬声器作为将电能转变为声能的常用电声换能器件,其在声放系统中起着不可或缺的作用。扬声器的种类繁多,音频电能通过电磁、压电或静电效应,使其纸盆或膜片振动并与周围的空气产生共振(共鸣)而发出声音。因此,正是有了扬声器的出现,人们才得以听到美妙的声音。一方面,现有的扬声器的结构大多采用晶片加工和磁铁集成,这就使得扬声器的加工过程极其复杂,...
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